SD-2M11912 ガラス基板用自動超音波洗浄装置
仕様は一例です。ご要望に応じてカスタムメイドの洗浄機を作製いたします。
| 搬入 コンベア |
No.1 | No.2 | No.3 | No.4 | No.5 | No.6 | No.7 | No.8 | No.9 | No.10 | No.11 | No.12 | 搬出 コンベア |
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| 液名 | 洗剤A | 洗剤A | シャワー | 洗剤B | 湯洗 | 湯洗 | 純水 | 純水 | IPA | IPA | IPA | IPA ベーパー |
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| 液温 | 45℃～ | 45℃～ | 水温 | 40℃～ | 成行き | 成行き | 常温 | 常温 | ～20℃ | ～20℃ | ～18℃ | 82.4℃ （沸点） |
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| 液量 | 約26L | 約26L | ― | 約26L | 約26L | 約28L | 約26L | 約28L | 約26L | 約26L | 約26L | 約12L | |||
| 超音波 | 600W 28KHz |
600W 37KHz |
― | 600W 200KHz |
300W 28KHz |
300W 37KHz |
300W 37KHz |
600W 200KHz |
― | 600W 200KHz |
― | ― | |||
| 揺動 50ST 15回/分 |
有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | エレベーター 機構 |
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| 液低下検知用 圧力SW |
有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | |||
| ポンプ | マグネット | マグネット | マグネット | ― | SUS カスケード |
― | ― | SUS カスケード |
SUS カスケード |
SUS カスケード |
SUS カスケード |
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| フィルター | 50μ | 30μ | 30μ | ― | 30μ | ― | ― | 1μ | 1μ | 0.5μ | 0.5μ | ||||
| その他 | 4個チャージ | No.3貯槽 へOF |
No.5 へOF |
No.6貯槽 へOF |
No.8 へOF |
4個チャージ | |||||||||
| 貯槽 | 液量 | 約110L | 約40L | 約55L | 約40L | 約40L | 約40L | 約40L | 約20L | ||||||
| ヒーター | 5KW×2本 | 5KW×1本 | ハンドホール | ||||||||||||
| その他 | 冷却コイル フロートSW |
フロートSW | 冷却コイル フロートSW |
フロートSW | フロートSW | フロートSW | フロートSW | フロートSW | |||||||
